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洛陽華衍電子材料有限公司

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磷烷

產品介紹

產品主要作用:用于半導體器件制備工藝中外延、擴散、化學氣相淀積、離子注入等工序

產品中文名:磷烷

產品英文名:Phosphine

化學式:PH3

CAS號:7803-51-2

UN 號:2199

純度:99.9999%

閥門型號:DISS632


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