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洛陽華衍電子材料有限公司

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三氯氫硅

產品介紹

產品主要作用:用于半導體器件制備工藝中外延、化學氣相淀積工序

產品中文名:三氯氫硅

產品英文名:Trichlorosilane

化學式:SiHCl3

CAS號:10025-78-2

UN 號:1295

純度:99.999%

閥門型號:1/4VCR/1/2VCR


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